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國儀量子高速掃描電子顯微鏡HEM6000 2023-09-01
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在大規模成像場景中,常規掃描電鏡成像速度和自動化程度都無法滿足應用需求。例如,在芯片結構成像應用中,需要在幾周內完成數百平方毫米區域的連續拍攝;在人類腦圖譜研究中,需要對百億級神經元進行高分辨成像。對于此類場景,常規掃描電鏡效率嚴重不足,為解決客戶痛點,國儀量子于近日推出一款專為大規模成像而生的新產品——高速掃描電子顯微鏡HEM6000。高速掃描電子顯微鏡HEM6000高速自動化HEM6000HEM6000是一款可實現跨尺度大規模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統、高壓樣品臺減速、動態光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術,實現了高速圖像采集和成像,同時保證了納米級分辨率。面向應用場景的自動化操作流程設計,使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規場發射掃描電鏡的5倍以上。可廣泛應用于半導體工業、生命科學、材料科學、地質科學等領域。圖像采集速度:10nspixel,2*100Mpixels加速電壓:100V~6kV(減速模式);6kV~30kV(非減速模式)分辨率:1.3nm@3kV,SE;2.2nm@1kV,SE視場大小:最大視場1*1mm2,高分辨微畸變視場32*32um2樣品臺精度:重復定位精度:X±0.6um;Y±0.3um產品優勢HEM600001高速自動化全自動上下樣流程和采圖作業,綜合成像速度優于常規場發射掃描電鏡的5倍02大場低畸變跟隨掃描場動態變化的光軸,實現了更低的場邊緣畸變03低壓高分辨樣品臺減速技術,實現低落點電壓,同時保證高分辨率應用案例HEM6000聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。舉報投訴

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